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双瓶手动特气柜(GC)
规格：双瓶工艺气瓶，手动
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四瓶半自动气瓶架(GR)
规格：四瓶工艺气瓶，半自动
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VMB阀门分配箱
VMB阀门分配箱，是一种内嵌多支路，实现高纯气体或液体分流的阀门箱。VMB能让高纯原料从单一来源被分配到多点应用。对于每个使用点，压力可被单独地调控，从而可同时满足不同应用的需求。它还可提供吹扫功能和真空抽气功能，因此操作人员能够在无危险气体泄漏的情况下安全地维。除此以外，设备运行过程中能在不影响其它支路气体供应情况下，吹扫某一支路或对其进行真空抽气。
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水洗式废气处理柜(Scrubber)
处理流量：600SLM
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霍尼韦尔Midas侦测器
霍尼韦尔Midas®是用于半导体工业及其他一般工业所使用的有毒气体以及可燃气体的高灵敏度和可靠度的气体探测器。
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半自动切换面板
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