双瓶手动特气柜(GC)
- 氦检报告
- 手动操作
- 高压测漏功能
- 带自清洁功能
- 双瓶工艺瓶供气
- 半自动切换供气
- 4寸排风口及阀门
可选配置
- 喷淋头
- 带加热盘面
- 高温探测报警
- 配置电子磅秤
- 烟雾感应器配置 UV/IR火焰探测器
- 前端0.1μ过滤器，后端0.001μ终端过滤器
适应气体
- 燃爆性气体：如氢气（H2）, 一氧化氮（N2O）, 甲烷（CH4）,乙炔（C2H2)等
- 毒腐性气体：如二氧化硫（SO2）、硫化氢（H2S）、一氧化碳（CO）、二氧化氮（NO2）、氯化氢（HCL）等
应用行业
- 应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上，适用于高校实验室、材料分析实验室、芯片半导体、光伏太阳能电池、生物医药工程、微电子新材料等行业。
应用行业
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光伏太阳能
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半导体芯片
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生物医药工程
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高校科研实验室
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微电子新材料
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材料分析实验室
