单瓶全自动特气柜(GC)
- 氦检报告
- 三色塔灯
- 防爆电控箱
- 高压测漏功能
- 带自清洁功能
- 4寸排风口及阀门
- 所有阀门使用气动阀
可选配置
- 喷淋头
- 带加热盘面
- 高温探测报警
- 配置电子磅秤
- 配置 UV/IR,喷淋头，高温，烟感应
- 前端0.1μ过滤器，后端0.001μ终端过滤器
- 为保证安全，所有阀门管件须使用美国Parker、Aptech、 Fujikin、TK、Unilok、SMAT、Mott、Hisptech等品牌
适应气体
- 燃爆性气体：如氢气（H2）, 一氧化氮（N2O）, 甲烷（CH4）,乙炔（C2H2)等
- 毒腐性气体：如二氧化硫（SO2）、硫化氢（H2S）、一氧化碳（CO）、二氧化氮（NO2）、氯化氢（HCL）等
应用行业
- 应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上，适用于高校实验室、材料分析实验室、芯片半导体、光伏太阳能电池、生物医药工程、微电子新材料等行业。
应用行业
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材料分析实验室
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半导体芯片
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生物医药工程
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生物医药工程
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生物医药工程
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材料分析实验室
