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特气系统
是指SiH4,NF3,Cl2 易燃易爆的气体、有毒的气体、有腐蚀性的气体、纯度特别高(超过99.999%)的一些具有高危险性,应确保安全性的特气储存、输送与分配过程的设备、管道和部件的总称,特气系统工程是用于实现特气系统安全使用的工程。盖斯帕克提供设计、选型、制造、安装、测试、调试和系统托管服务等整体解决方案
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