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废气处理柜(Scrubber)
吸附式Scrubber
吸附式scrubber 尾气处理设备可处理气体种类包括半导体、液晶以及太阳能等行业中蚀刻制程与化学气相沉积制程中使用的特气,主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等
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水洗式废气处理柜(Scrubber)
处理流量:600SLM
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电热式废气处理柜(Scrubber)
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等离子废气处理柜(Scrubber)
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