首页
关于
公司简介
团队优势
发展历史
企业文化
荣誉资质
服务
特气系统
尾气处理系统
气体报警系统
化学品工程
机电系统
洁净车间系统
产品
特气柜（GC）
气瓶架（GR）
阀门分配箱（VMB/VMP）
废气处理柜（Scrubber)
气体报警器
自动切换/调压面板
流程
案例
科研实验室
负极材料
泛半导体
光伏太阳能
新能源
新材料
新闻
企业新闻
行业资讯
展会活动
公益活动
联系
联系我们
在线留言
加入我们
400-900-9093
中文
English
中文简体
PRODUCT
产品中心
特气柜（GC）
废气处理柜（Scrubber)
阀门分配箱（VMB/VMP）
气瓶架（GR）
气体报警器
自动切换/调压面板
首页
/
产品
单瓶手动特气柜(GC)
规格：单瓶工艺气瓶，手动
查看详情
双瓶半自动气瓶架(GR)
规格：双瓶瓶工艺气瓶，半自动
查看详情
吸附式Scrubber
吸附式scrubber 尾气处理设备可处理气体种类包括半导体、液晶以及太阳能等行业中蚀刻制程与化学气相沉积制程中使用的特气，主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等
查看详情
智能气体监控箱
本报警箱适用压力、气体浓度的实时监控及故障报警，最多可同时监控12路数据，根据不同的监控点数采用不同的硬件配置。根据用户需求自由定义监视通道的各项属性，在主界面中，可以看到各通道的监视值，及对应报警情况，当有报警发生时，对应报警灯会由绿色变为红色。
查看详情
全自动切换面板
查看详情
全自动分配箱(VMB)
VMB阀门分配箱，是一种内嵌多支路，实现高纯气体或液体分流的阀门箱。VMB能让高纯原料从单一来源被分配到多点应用。对于每个使用点，压力可被单独地调控，从而可同时满足不同应用的需求。它还可提供吹扫功能和真空抽气功能，因此操作人员能够在无危险气体泄漏的情况下安全地维。除此以外，设备运行过程中能在不影响其它支路气体供应情况下，吹扫某一支路或对其进行真空抽气。
查看详情
1
2
3
4
5
6
在线咨询
电话咨询
tel:4009009093
添加微信
G4009009093
返回顶部
