全自动分配箱(VMB)
(1)简介 VMB阀门分配箱,是一种内嵌多支路,实现高纯气体或液体分流的阀门箱。VMB能让高纯原料从单一来源被分配到多点应用。对于每个使用点,压力可被单独地调控,从而可同时满足不同应用的需求。它还可提供吹扫功能和真空抽气功能,因此操作人员能够在无危险气体泄漏的情况下安全地维。除此以外,设备运行过程中能在不影响其它支路气体供应情况下,吹扫某一支路或对其进行真空抽气。 (2)面板基础配置 ■吹扫压力表 (3)面板可选配置 ■真空发生器 ■测试端口阀门 ■单向阀、过滤器 |
(4)适用气体
易燃性,腐蚀性,毒性气体,诸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等
(5)适用行业
Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED,研究所,高校实验室等