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阀门分配箱(VMB/VMP)
落地式阀门控制箱
尾气排放功能;
具备一个预留扩充点
气体分配柜的负压应持续监控。
防爆外柜,烤漆或不锈钢外壳包覆
紧急切断功能,风压事故报警功能等
为保证安全,所有阀门管件须使用优质的国际知名品牌
符合国际安全规范的带钢丝玻璃观察窗、自动关闭门、抽风外壳
适应气体
适用气体:易燃性,腐蚀性,毒性气体,诸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等
应用行业
Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED,研究所,高校实验室等
应用行业
材料分析实验室
半导体芯片
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高校科研实验室
微电子新材料
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