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水洗式废气处理柜(Scrubber)
  • 冷却水入口流量检测
  • 处理效率大于 99.999%
  • 对稀释气体流量进行控制
  • 各种气体独立进入 Scrubber
  • 进气口配单向阀、可燃气配阻火器
  • 进入气体管道炉前管道使用SS316LEP管
适用气体

  • 燃爆毒腐性气体 :如氯气（Cl2）, 氯化氢（HCl）, 三氯化硼（BCl3）等

应用行业

  • 适合于半导体、新材料及高等院校、科研院所、航空航天和微电子等需要对燃爆毒腐气体处理的企业或实验室

应用行业
  • 光伏太阳能
    光伏太阳能
  • 半导体芯片
    半导体芯片
  • 生物医药工程
    生物医药工程
  • 高校科研实验室
    高校科研实验室
  • 微电子新材料
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  • 材料分析实验室
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