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废气处理柜(Scrubber)
电热式废气处理柜(Scrubber)
燃烧温度850℃;
燃烧室温度监测与报警
助燃气体入口压力检测
对稀释气体流量进行控制
燃烧效率大于 99.999%
加热腔体采用C276材质
适用气体
易燃可燃性气体 :如氢气(H2), 硅烷(SiH4), 氨气(NH3),等
应用行业
适合于半导体、新材料及高等院校、科研院所、航空航天和微电子等需要对燃爆气体处理的企业或实验室
应用行业
光伏太阳能
半导体芯片
生物医药工程
高校科研实验室
微电子新材料
材料分析实验室
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