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等离子废气处理柜（Scrubber）

尺寸：DIMENSION 尺寸约1000*900*2060(W*D*H)
进气口：进口1~4端口，入口模块组件温度监测( 120℃ ↓)
湿式洗涤：防腐项目（高树脂涂层室）、Switch 方式的流量供给监测、湿式洗涤温度监测(35℃以下)
湿式储罐：高树脂涂层室、容量充分的循环水、抽水机
等离子体室（反应器）：自上而下流动系统、室内温度传感器、防腐项目（内腔_ SUS310)
通过加热模块，配备温度高及温度低报警功能，并配以充足空气（空气需用户现场提供）助燃，含尾气处理器稀释助燃气体用量，尾气可处理容量≥1500升每分钟，将可燃或可分解废气燃烧、氧化、分解，达到降害目的，本设备可处理可燃性/爆炸性气体处理量≥220SLM,如如氢气、乙炔、磷烷、一氧化碳、二氟甲烷、氟化甲基等,DIMENSION 尺寸约1000*900*2060(W*D*H)
水洗除了有冷却、降温的功能，还可以通过水溶解或水分解，将溶水气体变成液态酸或碱性溶液对废气进行处理，设备配置喷淋头5个，方便后续工程的酸碱中和处理，本设备可处理溶水性性气体处理量≥150SLM,如氨气、氟气、乙硼烷等

适用气体

燃爆毒腐性气体:如氟气（F2）, 砷（AS）, 温室气体（GHG）等

应用行业

适合于半导体、新材料及高等院校、科研院所、航空航天和微电子等需要对燃爆毒腐气体处理的企业或实验室

应用行业

光伏太阳能
半导体芯片
生物医药工程
高校科研实验室
微电子新材料
材料分析实验室

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