一、前言
随着我国半导体、制芯业的发展，高纯气体管道的应用也越来越广泛，象半导体、电子、医药、食品等行业都不同程度的使用了高纯气体管道，因此高纯气体管道的施工对于我们来说也越来越重要。
二、适用范围
本工艺主要适用于电子、半导体厂房的气体管道安装、测试，焊接薄壁不锈钢气体管道，同时也适用于医药、食品等厂房的洁净管道施工。
三、工艺原理
根据工程特点，工程的施工前后分为三个步骤，每一步都要经过严格的质量和洁净度检查，第一步是管道的预制，为保证洁净要求，管道的预制一般是在1000级的预制间内进行;第二步是现场安装;第三步是系统的测试，系统测试主要是对管道内的尘埃粒子、露点、含氧量、碳氢化合物的含量进行测试。
四、主要施工要点
(一)施工前的准备
1、组织劳动力，准备施工中使用的机具、设备。
2、搭建预制间，洁净度1000级。
3、施工图分析，根据工程特点及实际情况编制施工方案，做好技术交底。
(二)管道预制
1、由于高纯气体管道要求的洁净度较高，为了减少安装现场的焊接工作量，确保洁净度，所以管道的施工先在1000级的预制间中预制，施工人员应穿洁净服，使用的工机具应保证洁净，另外施工人员应有较强的洁净意识，施工过程尽量减少对管子的污染。 2、管道的下料管道下料使用的是专用的切管工具，切出的端面绝对和管轴心线垂直，切管时应采取措施避免外界的灰尘、空气对管子内部的污染，下好的料应分组编号以便于组对焊接。
3、管道焊接，管道焊接前应先编制焊接程序输入到自动焊机，试焊样品，样品合格后，方能焊接，进行完一天的焊接后，再焊样品，如果样品合格，由于焊接参数一直储存在焊机里，自动焊机焊接时又非常稳定，所以焊缝质量也是合格的。焊接质量由微机控制，减少了由于人为因素对焊接质量的影响，既提高了工作效率，又能得到高品质的焊缝。
4、焊接工序
(三)现场安装
1、高纯气体管道的现场安装应整洁干净，安装人员必须戴洁净手套。
2、支架设置距离应符合图纸设计要求，每一固定点套上EP管专用的橡胶套。
3、预制好的管子运到现场，不能磕碰踩踏，不能直接放到地面上，担上支架后，立即上管卡。
4、现场的管道焊接和预制阶段管道焊接程序相同。
5、焊接完毕经有关人员对焊口样品及管道上的焊口检验合格后，贴焊口标签，填写焊接记录。
(四)系统测试
1、系统检测是高纯气体施工的最后一环，它是在管道压力试验、吹扫结束后进行。
2、系统测试使用的气体首先是合格气体，气体的洁净度、含氧量、露点及碳氢化合物应符合要求。
3、指标的检测是通过在管道里充入合格气体，在出口处用仪器测量，管道里吹出的气体合格了，说明这条管路指标合格了。
五、材料
高纯气体管道按其流通介质的工艺要求一般采用薄壁不锈钢管，通常采用316L(00Cr17Ni14Mo2)。主要有铬、镍、钼三种合金元素，铬的存在提高了不锈钢在氧化性介质中的耐腐蚀性，形成一层富铬氧化膜;而钼的存在则提高了不锈钢在非氧化性介质中的耐腐蚀性;镍是奥氏体的形成元素，它们的存在既提高了钢的耐腐蚀性，又提高了钢的工艺性能。
六、机具设备
自动焊机 ARC M207A 2台
切管机 RA41 台
端面加工机 2台
电源稳压器 2台
手工钨极氩弧焊机 3台
氩气过滤器 3个
不锈钢弯管器 1/4″、3/8″、1/2″、3/4″各1个
粒子测试仪 1台
露点测试仪 1台
碳氢化合物测试仪 1台
氩气纯度检测仪 1台
七、劳动力组织
项目经理 1名
管道工程师 1名
焊接工程师 1名
管道施工组长 2名
焊 工 2名
管道施工组员 6名
八、施工质量要求
1、工程施工执行的质量标准⑴ 洁净室施工及验收规范 JGJ71-90
⑵ 洁净厂房设计规范 GB50073-2001
⑶ 工业金属管道工程施工及验收规范 GB50235-97
⑷ 现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范GB50236-98
2、为保证工程质量，应采取下列措施
⑴ 工程技术人员负责施工计划、工程技术和洁净措施的制订，绘制预制加工图，并负责组织、指导全面实施，对施工质量负责。
⑵ 管工必须按规定的洁净、技术措施按图预制和安装，负责专用设备的正确使用和保养，负责做好各项测试准备工作和测试工作，负责管道的预制、安装达到质量标准。
⑶质量检验人员，应对管道预制、安装作业进行全面质量检查和控制，督促检查各项洁净措施的贯彻执行;检查确认预制安装质量、检查确认焊接前后的焊口样品;检查确认焊接记录和各种检测及其记录的正确性;并负责汇总和整理交工资料。
⑷ 发生质量事故，不得隐瞒，及时上报，查找原因并及时解决。
九、安全措施
1、严格执行《建筑安装工人安全技术操作规程》，组织工人学习，经考核合格后方能上岗。
2、高空作业，脚手架在超出地面两米(含两米)以上时，人员须系安全带，工具须放入工具袋内，脚手架必须围篱。
3、所有带电设备、带电工具必须有漏电保护措施，临时电缆、电线的接线须由专职电工实施。
4、动火作业应办理动火作业许可证，动火作业人员应持证上岗，并备好防火用品。
5、安全人员随时检查班组施工人员的安全情况，发现安全隐患及时排除。
