（1）工艺气体控制设备

A：毒腐燃爆类供气设备GC

毒腐燃爆类气体使用Hisptech 型全自动特气柜,全自动触摸屏操作(带外吹扫、抽真空，自动紧急远程切断、事故报警，高压保压钢瓶接头测漏，泄漏报警对 接，通风出口等)

B：终端气体控制设备

Hisptech 型VMB，具有自动紧急远程切断、带抽真空、外吹扫、泄漏报警对接，通风出口等

（2）气体管道输送系统

管道需要按照整幢楼的现状及洁净室建设及装修综合 情况进行安全布置，并按照对应工艺设备实际需要安全科学分送到洁净室内指定设备处。管道的布置须 使用安全且必要的双层套管（内层管为洁净抛光 EP 级管，中间真空，外层做 BA 级管）中间抽真空且进行真空监控，所有管材及管阀件须用国际知名品牌 EP 级材料

（3）尾气处理系统

提供Hisptech电热分解式+高分子WET式Scrubber，采用超高温夹套分解式与超高压水分子吸附处理方式，处理效率≥99.999%