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科研新材料特气系统

客户背景:

此项目客户是一个科研研究单位,跟企业一起卵化的科研项目,使用到原子层沉积ALD设备,实验研究硅硼纳米材料领域,实验气体涉及到硅烷、硼烷、磷烷、三氯化硼、氨气等危险气体和惰性气体


客户需求:

(1)所使用的气体比较危险,管道系统需要高安全性配置

(2)对特气柜的吹扫系统要求比较高

(3)特气柜需双工艺双出口配置、需自动启停、自动报警、可远程调控流量、防爆等

(4)产生的尾气,单独排放到指定区域不产生环保问题


解决方案:

(1)工艺气体控制设备

A:毒腐燃爆类供气设备GC

毒腐燃爆类气体使用Hisptech 型全自动特气柜,全自动触摸屏操作(带外吹扫、抽真空,自动紧急远程切断、事故报警,高压保压钢瓶接头测漏,泄漏报警对 接,通风出口等)

B:终端气体控制设备

Hisptech 型VMB,具有自动紧急远程切断、带抽真空、外吹扫、泄漏报警对接,通风出口等

(2)气体管道输送系统

管道需要按照整幢楼的现状及洁净室建设及装修综合 情况进行安全布置,并按照对应工艺设备实际需要安全科学分送到洁净室内指定设备处。管道的布置须 使用安全且必要的双层套管(内层管为洁净抛光 EP 级管,中间真空,外层做 BA 级管)中间抽真空且进行真空监控,所有管材及管阀件须用国际知名品牌 EP 级材料

(3)尾气处理系统

提供Hisptech电热分解式+高分子WET式Scrubber,采用超高温夹套分解式与超高压水分子吸附处理方式,处理效率≥99.999%


项目成果
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