规格：三瓶工艺气瓶，手动 （1）基础配置 ■氦检报告 ■手动操作 ■高压测漏功能 ■带自清洁功能 ■三瓶工艺瓶供气 ■半自动切换供气 ■4寸排风口及阀门 ■配置吹扫抽真空功能 ■带钢丝玻璃观察窗、自动关闭门、抽风外壳 （2）可选配置 ■喷淋头 ■带加热盘面 ■高温探测报警 ■配置电子磅秤 ■烟雾感应器配置 UV/IR火焰探测器 ■前端0.1μ过滤器，后端0.001μ终端过滤器 |
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（3）适应气体
燃爆性气体，如氢气（H2）, 一氧化氮（N2O）, 甲烷（CH4）,乙炔（C2H2)等，毒腐性气体，如二氧化硫（SO2）、硫化氢（H2S）、一氧化碳（CO）、二氧化氮（NO2）、氯化氢（HCL）等
（4）应用行业
应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上，适用于高校实验室、材料分析实验室、芯片半导体、光伏太阳能电池、生物医药工程、微电子新材料等行业。
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