VMB阀门控制箱
(1)产品简介 VMB阀门分配箱,是一种内嵌多支路,实现高纯气体或液体分流的阀门箱。VMB能让高纯原料从单一来源被分配到多点应用。对于每个使用点,压力可被单独地调控,从而可同时满足不同应用的需求。它还可提供吹扫功能和真空抽气功能,因此操作人员能够在无危险气体泄漏的情况下安全地维。除此以外,设备运行过程中能在不影响其它支路气体供应情况下,吹扫某一支路或对其进行真空抽气 (2)基础配置 ■尾气排放功能; ■具备一个预留扩充点 ■气体分配柜的负压应持续监控。 ■防爆外柜,烤漆或不锈钢外壳包覆 ■紧急切断功能,风压事故报警功能等 ■为保证安全,所有阀门管件须使用优质的国际知名品牌 ■符合国际安全规范的带钢丝玻璃观察窗、自动关闭门、抽风外壳 ■带外吹扫、带抽真空,自动紧急远程切断、事故报警,泄漏报警对接,通风出口等 ■每个stick 可配置:手动隔膜阀、气动隔膜阀、压力表,压力传感器、减压阀,单向阀,过滤器、安全阀等 |
(3)适用气体
易燃性,腐蚀性,毒性气体,诸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等
(4)适用行业
Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED,研究所,高校实验室等