三瓶全自动特气柜(GC)

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三瓶全自动特气柜(GC)


规格:三瓶工艺气瓶,全自动

1)基础配置

■氦检报告

三色塔灯

防爆电控箱

■高压测漏功能

■带自清洁功能

■4寸排风口及阀门

所有阀门使用气动阀

工艺瓶自动供气

■防爆外柜,烤漆或不锈钢外壳包覆

■符合国际安全规范的带钢丝玻璃观察窗

■实现人气分离的全自动触摸屏操作(外吹扫、抽真空,自动紧急远程切断、事故报警,高压保压钢瓶接头测漏,泄漏报警对 接,通风出口等)

2)可选配置

■喷淋头

■带加热盘面

■高温探测报警

■配置电子磅秤

■配置 UV/IR,喷淋头,高温,烟感应

■前端0.1μ过滤器,后端0.001μ终端过滤器

为保证安全,所有阀门管件须使用美国Parker、Aptech、 Fujikin、TK、Unilok、SMAT、Mott、Hisptech等品牌













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3)适应气体

燃爆性气体,如氢气(H2), 氧化氮(N2O), 甲烷(CH4),乙炔(C2H2)等毒腐性气体,如二氧化硫(SO2)、硫化氢(H2S)、一氧化碳(CO)、二氧化氮(NO2)、氯化氢(HCL)等

4)应用行业

应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上,适用于高校实验室、材料分析实验室、芯片半导体、光伏太阳能电池、生物医药工程、微电子新材料等行业。