规格:三瓶工艺气瓶,全自动 (1)基础配置 ■氦检报告 ■三色塔灯 ■防爆电控箱 ■高压测漏功能 ■带自清洁功能 ■4寸排风口及阀门 ■所有阀门使用气动阀 ■三工艺瓶自动供气 ■防爆外柜,烤漆或不锈钢外壳包覆 ■符合国际安全规范的带钢丝玻璃观察窗 ■实现人气分离的全自动触摸屏操作(外吹扫、抽真空,自动紧急远程切断、事故报警,高压保压钢瓶接头测漏,泄漏报警对 接,通风出口等) (2)可选配置 ■喷淋头 ■带加热盘面 ■高温探测报警 ■配置电子磅秤 ■配置 UV/IR,喷淋头,高温,烟感应 ■前端0.1μ过滤器,后端0.001μ终端过滤器 ■为保证安全,所有阀门管件须使用美国Parker、Aptech、 Fujikin、TK、Unilok、SMAT、Mott、Hisptech等品牌 |
(3)适应气体
燃爆性气体,如氢气(H2), 一氧化氮(N2O), 甲烷(CH4),乙炔(C2H2)等,毒腐性气体,如二氧化硫(SO2)、硫化氢(H2S)、一氧化碳(CO)、二氧化氮(NO2)、氯化氢(HCL)等
(4)应用行业
应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上,适用于高校实验室、材料分析实验室、芯片半导体、光伏太阳能电池、生物医药工程、微电子新材料等行业。