硅烷(SiH4)是一种在常温常压下具有恶臭的无色气体。它还是一种在室温下能着火、在空气或卤素气体中能爆炸性燃烧的剧毒特种气体。　　硅烷在高科技行业中应用越来越广泛，这与它的特性有关，同时也与行业的特殊需求有关。　　1、硅烷(SiH4)可

高纯气配管技术是高纯气体供气系统的重要组成部分，是能否将合符要求的高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键技术；所谓高纯气配管技术包括系统的正确设计、管件及附件的选择、施工安装和试验测试等内容。近年来以大规模集成电路为代表的微电子产品生产对高

随着我国半导体、制芯业的发展，高纯气体管道的应用也越来越广泛随着我国半导体、制芯业的发展，高纯气体管道的应用也越来越广泛

1、所有管道的支吊架必须符合规范及设计要求并按照标准图集中的要求制作与安装。管道支架或管卡应固定在楼板上或承重结构上。应按设计要求或国家标准图集中对管道固定支架的型式进行选择。严禁将管道支、吊架直接焊接在钢结构承重梁上，必须根据承重梁的承重系数选择合适的支、吊架固定方案才能进行施工。

硅烷在高科技行业中应用越来越广泛，这与它的特性有关，同时也与行业的特殊需求有关。

管道安装前，请再次检查管道，配件，阀门和预制管道，并根据设计要求进行检查。内部已经清理干净，没有杂物。

电子特种气体是特种气体的一个重要分支，是集成电路(IC)、显示面板(LCD、OLED)、光伏能源、光纤光缆等电子工业生产中不可或缺的关键性原材料，广泛应用于薄膜、光刻、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺，其质量对电子元器件的性能有重要影响。