前言
近年来，我国在《中华人民共和国环境保护法》、《中华人民共和国大气污染防治法》等法律法规中，明确指出了生产及含VOCs产品的生产、储存运输销售、使用、消费各环节的污染防治策略和方法。
对半导体行业废气处理系统的设计选型，盖斯帕克严格按照国家或地方的大气污染物治理达标排放标准。
主要来源于芯片或者是线路板生产的清洗、均胶、去胶、刻蚀、显影过程中。
其中薄膜沉积、光刻和刻蚀是集成电路三大核心工艺，反复循环多次，随着集成电器线宽不断缩小，直接导致集成电路制造工序越加复杂。据统计，20纳米工艺所需工序约为1000道，而10纳米和7纳米所需工序已超过1400道，随着工序步骤的大幅增加意味着污染物排放的增加。
由于半导体行业对操作室清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排气量高、排放浓度低，这些废气排放主要可以分为四类：酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体。
二.为什么要做废气处理？
废气处理在半导体制造企业中是一个不可或缺的环保环节。
作为大规模、代表先进制造技术的产业，未经过处理的废气排放将会对环境造成的污染、对先进半导体制程造成很大的影响，即AMC（分子污染）问题，AMC控制正成为所有新型半导体制造设备设计要求中所必须的要点之一，所以一定要积极做好废气排放的处理和控制工作。
三.解决方案--GP废气处理系统
主要处理气体
（一）易燃易爆类：SiH4、H2、CH4等；
（二）毒性腐蚀性：N2O、NH3、Cl2等；
（三）其他可吸附性有机气体及溶剂。
废气处理系统核心
（一）该系统核心为尾气中央处理；
（二）尾气通过专用收集管道进入设备；
（三）尾气进入设备时通过N2等惰性高纯气体进行有效稀释后再处理；
（四）可燃气体在烧结炉同时有百分比CDA助燃；
（五）毒性腐蚀性气体在水洗塔内喷淋充分结合溶解；
（六）处理后的溶液在碱性池中二次降解，达到可排放标准；
（七）各个模块方便维护，经济高效；
（八）Scrubber灵活多样，可选择加热处理、水洗处理、吸附式及多种结合方式。
在半导体制程生产中，这些制程后残存的气体从无尘室通过真空管出来后，需经尾气处理设备（Local Scrubber）通过燃烧或水洗、冷凝、吸附式等方法先行处理，再排入中央废气处理系统。
这是因为半导体制造工作区域离中央废气处理系统距离较远，因此这些废气在输送至中央废气处理系统前，在冗长的排气过程中，可能会因为气体特性导致引发非预期的气体泄漏，局部聚积或相互反应，造成风管堵塞、管路腐蚀等问题，严重者甚至引发火灾爆炸、停止生产和危害现场工作人员的工作安全的后果。
五.SCRUBBER设备介绍
产品特性
■ 主柜体全部采用SUS 304和工业级特氟龙材质，环保耐用。
■ 主体阀门管件主要采用SUS 316材质不锈钢，耐腐蚀性极好。
■ 主体阀门管件全部来自国际一线品牌。
■ 智能温控系统，用户根据实际需求调节加热温度，可手动启停水洗部分。
标准配置
■ 主柜体全部全触摸屏智能化操作控制，两级加密防止误操作；
■ 3D动态处理流程实时显示；
■ 实体箱体带观察窗口，动态的看到整个处理流程；
■ 符合国际安全规范的压力、流量在线监测系统；
■ 可以采用循环水，更加环保节能；
■ 循环水箱PH浓度实时值监测；
■ 加热炉智能温控，最高达950℃高温；
■ 符合维修窗口配置，方便维护和二次扩展；
■ 加具备一个预留扩充点；
■ 紧急切断功能，事故报警功能等；
盖斯帕克深耕特气控制系统13年+，我们有丰富的经验、雄厚的技术实力为客户量身定制各种尾气处理系统，从尾气处理方案至设备销售、安装，为客户提供一站式解决方案。
