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解决方案 | 半导体尾气处理系统
2023-06-19

前言


近年来,我国在《中华人民共和国环境保护法》、《中华人民共和国大气污染防治法》等法律法规中,明确指出了生产及含VOCs产品的生产、储存运输销售、使用、消费各环节的污染防治策略和方法。

对半导体行业废气处理系统的设计选型,盖斯帕克严格按照国家或地方的大气污染物治理达标排放标准。


一.半导体产业的有害气体从哪来?

主要来源于芯片或者是线路板生产的清洗、均胶、去胶、刻蚀、显影过程中。

其中薄膜沉积、光刻和刻蚀是集成电路三大核心工艺,反复循环多次,随着集成电器线宽不断缩小,直接导致集成电路制造工序越加复杂。据统计,20纳米工艺所需工序约为1000道,而10纳米和7纳米所需工序已超过1400道,随着工序步骤的大幅增加意味着污染物排放的增加。

由于半导体行业对操作室清洁度要求极高,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此半导体行业废气排气量高、排放浓度低,这些废气排放主要可以分为四类:酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体。



二.为什么要做废气处理?


废气处理在半导体制造企业中是一个不可或缺的环保环节。

作为大规模、代表先进制造技术的产业,未经过处理的废气排放将会对环境造成的污染、对先进半导体制程造成很大的影响,即AMC(分子污染)问题,AMC控制正成为所有新型半导体制造设备设计要求中所必须的要点之一,所以一定要积极做好废气排放的处理和控制工作。


三.解决方案--GP废气处理系统


  主要处理气体


(一)易燃易爆类:SiH4、H2、CH4等;

(二)毒性腐蚀性:N2O、NH3、Cl2等;

(三)其他可吸附性有机气体及溶剂。


  废气处理系统核心


(一)该系统核心为尾气中央处理;

(二)尾气通过专用收集管道进入设备;

(三)尾气进入设备时通过N2等惰性高纯气体进行有效稀释后再处理;

(四)可燃气体在烧结炉同时有百分比CDA助燃;

(五)毒性腐蚀性气体在水洗塔内喷淋充分结合溶解;

(六)处理后的溶液在碱性池中二次降解,达到可排放标准;

(七)各个模块方便维护,经济高效;

(八)Scrubber灵活多样,可选择加热处理、水洗处理、吸附式及多种结合方式。


四.为什么选择尾气处理系统?


在半导体制程生产中,这些制程后残存的气体从无尘室通过真空管出来后,需经尾气处理设备(Local Scrubber)通过燃烧或水洗、冷凝、吸附式等方法先行处理,再排入中央废气处理系统。


这是因为半导体制造工作区域离中央废气处理系统距离较远,因此这些废气在输送至中央废气处理系统前,在冗长的排气过程中,可能会因为气体特性导致引发非预期的气体泄漏,局部聚积或相互反应,造成风管堵塞、管路腐蚀等问题,严重者甚至引发火灾爆炸、停止生产和危害现场工作人员的工作安全的后果。

五.SCRUBBER设备介绍

 

  产品特性

  ■  主柜体全部采用SUS 304和工业级特氟龙材质,环保耐用。

  ■  主体阀门管件主要采用SUS 316材质不锈钢,耐腐蚀性极好。

  ■  主体阀门管件全部来自国际一线品牌。

  ■  智能温控系统,用户根据实际需求调节加热温度,可手动启停水洗部分。

  标准配置

  ■  主柜体全部全触摸屏智能化操作控制,两级加密防止误操作;

  ■  3D动态处理流程实时显示;

  ■  实体箱体带观察窗口,动态的看到整个处理流程;

  ■  符合国际安全规范的压力、流量在线监测系统;

  ■  可以采用循环水,更加环保节能

  ■  循环水箱PH浓度实时值监测;

  ■  加热炉智能温控,最高达950℃高温;

  ■  符合维修窗口配置,方便维护和二次扩展;

  ■  加具备一个预留扩充点;

  ■  紧急切断功能,事故报警功能等;

盖斯帕克深耕特气控制系统13+,我们有丰富的经验、雄厚的技术实力为客户量身定制各种尾气处理系统,从尾气处理方案至设备销售、安装,为客户提供一站式解决方案。



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