处理流量：600SLM

（1）基础配置

■水洗自动控制

■冷却水入口流量检测

■处理效率大于 99.999%

■对稀释气体流量进行控制

■各种气体独立进入 Scrubber
■进气口配单向阀、可燃气配阻火器
■进入气体管道炉前管道使用SS316LEP管
■进入气体管道Scrubber前管道自动轨道焊接

■设备管道经涂层处理具备耐磨耐腐蚀性
■循环水槽水位与漏液检测，变频循环水泵，流量最大80L/min，最大可调6米扬程