水洗式废气处理柜(Scrubber)

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水洗式废气处理柜(Scrubber)


处理流量:600SLM


(1)基础配置

水洗自动控制

冷却水入口流量检测

处理效率大于 99.999%

对稀释气体流量进行控制

各种气体独立进入 Scrubber
进气口配单向阀、可燃气配阻火器
进入气体管道炉前管道使用SS316LEP管
进入气体管道Scrubber前管道自动轨道焊接

设备管道经涂层处理具备耐磨耐腐蚀性
循环水槽水位与漏液检测变频循环水泵,流量最大80L/min,最大可调6米扬程






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(2)适用气体

毒腐性气体,如氯气(Cl2), 氯化氢(HCl), 三氯化硼(BCl3)等

(3)应用行业

适合于半导体、新材料及高等院校、科研院所、航空航天和微电子等需要对水溶性毒腐气体处理的企业或实验室