燃烧式废气处理柜(Scrubber)

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燃烧式废气处理柜(Scrubber)


处理流量:600SLM

(1)基础配置

燃烧型自动控制;
燃烧温度850℃;
燃烧室温度监测与报警;
助燃气体入口压力检测;
对稀释气体流量进行控制

燃烧效率大于 99.999%

加热腔体采用C276材质

各种气体独立进入 Scrubber

混合进入的CDA及N2流量进行控制

进气口配单向阀、可燃气配阻火器

进入气体管道炉前管道自动轨道焊接

设备管道经涂层处理具备耐磨耐腐蚀性

进入气体管道炉前管道使用SS316LEP管








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(2)适用气体

易燃可燃性气体,如氢气(H2), 硅烷(SiH4), 氨气(NH3),等

(3)应用行业

适合于半导体、新材料及高等院校、科研院所、航空航天和微电子等需要对燃爆气体处理的企业或实验室