水洗+燃烧二合一(Scrubber)

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水洗+燃烧二合一型(Scrubber)


处理流量:600SLM

(1)基础配置

尺寸:DIMENSION 尺寸 约950*900*1800(W*D*H)■燃烧温度850℃

■冷却水入口流量检测
■燃烧室温度监测与报警
■助燃气体入口压力检测

■燃烧效率大于 99.999%

■加热腔体采用C276材质
■循环水槽水位与漏液检测

■对稀释气体流量进行控制

■各种气体独立进Scrubber

■混合进入的CDA及N2流量进行控制

■排风口压力、浓度、温度监测报警

■进气口配单向阀、可燃气配阻火器

■触摸屏+国际知名品牌PLC自动控制

■进入气体管道炉前管道自动轨道焊接

■设备管道经涂层处理具备耐磨耐腐蚀性

■进入气体管道炉前管道使用SS316LEP管
■变频循环水泵,流量最大80L/min,最大可调6米扬程

■通过电加热到 850℃,加热棒可根据用户需求配置4~8支,腔室内设置2个以上温度热电偶,具有温度高及温度低报警功能,并配以充足空气(空气需用户现场提供)助燃,含尾气处理器稀释助燃气体用量尾气可处理容量≥600升每分钟,处理效率≥99%,将可燃或可分解废气燃烧、氧化、分解,达到降害目的

■水洗除了有冷却、降温的功能,还可以通过水溶解或水分解,将溶水气体变成液态酸或碱性溶液及增加2层以上填料对废气进行处理,设备配置10以上喷淋头,方便后续工程的酸碱中和处理




废气处理柜.png废气处理柜.png



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(2)适用气体

燃爆毒腐性气体,如氢气(H2), 硅烷(SiH4), 氨气(NH3), 磷烷(PH3),乙炔(C2H2)等

 

(3)应用行业

适合于半导体、新材料及高等院校、科研院所、航空航天和微电子等需要对燃爆毒腐气体处理的企业或实验室