等离子废气处理柜(Scrubber)

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等离子废气处理柜(Scrubber)


(1)基础配置

■尺寸:DIMENSION 尺寸 约1000*900*2060(W*D*H)

■进气口:进口1~4端口,入口模块组件温度监测( 120℃ ↓)

■湿式洗涤:防腐项目(高树脂涂层室)、Switch 方式的 流量供给监测、湿式洗涤温度监测(35℃以下)

■湿式储罐:高树脂涂层室、容量充分的 循环水、抽水机

■等离子体室(反应器):自上而下流动系统、室内温度传感器、防腐项目(内腔_ SUS310)

■通过加热模块,配备温度高及温度低报警功能,并配以充足空气(空气需用户现场提供)助燃,含尾气处理器稀释助燃气体用量,尾气可处理容量≥1500升每分钟,将可燃或可分解废气燃烧、氧化、分解,达到降害目的,本设备可处理可燃性/爆炸性气体处理量≥220SLM,如如氢气、乙炔、磷烷、一氧化碳、二氟甲烷、氟化甲基等,DIMENSION 尺寸 约1000*900*2060(W*D*H)

■水洗除了有冷却、降温的功能,还可以通过水溶解或水分解,将
溶水气体变成液态酸或碱性溶液对废气进行处理,设备配置喷淋头5个,方便后续工程的酸碱中和处理,本设备可处理溶水性性气体处理
量≥150SLM,如氨气、氟气、乙硼烷等

(2)适用气体

燃爆毒腐性气体,如 氟气(F2), 砷(AS), 温室气体(GHG)等

 

(3)应用行业

适合于半导体、新材料及高等院校、科研院所、航空航天和微电子等需要对燃爆毒腐气体处理的企业或实验室


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