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特气柜（GC）
三瓶全自动特气柜(GC)
应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上，适用于高校实验室、材料分析实验室、芯片半导体、光伏太阳能电池、生物医药工程、微电子新材料等行业。
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大流量全自动特气柜(BSGS)
应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上，适用于高校实验室、材料分析实验室、芯片半导体、光伏太阳能电池、生物医药工程、微电子新材料等行业。
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