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实验室高纯气体系统

客户背景

此项目客户是国内一所重点大学,实验室使用到气相沉积系统,涉及到硅烷、氨气、高纯氮、二氯硅烷等危险气体,实验室要做特气集中供气系统,为实验人员提供稳定、高压、高纯的实验气体


客户需求:

1科研老师比较关注安全,提出防爆防静电等要求

2二次减压后,同样需要保持持续稳定的高压状态,压力在一定范围内精确可调

3气体需要不间断供应

4产生的尾气,单独排放到指定区域


解决方案:

1集中供气是一个定制化的项目,是由各个功能模块组成的供气系统,根据此项目特点,为用户提供了高压气体控制储存设备、管道和低压控制部分、排风系统、生命安全系统、设备接地及防静电系统五大板块

2对实验房间进行改造,保护实验环境安全

3定制燃爆类氢气控制设备,可以稳定、精确控制气体的压力等,满足客户使用参数


项目成果
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