化学品系统-化学品系统-深圳市盖斯帕克气体应用技术有限公司

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化学品供应系统

化学品供应系统简称CDS，是一个为生产线实现24小时不间断供应高纯度化学品的系统，一般应用于使用量大、POU点位多或者危险性高的化学品。其目的是供应高纯度化学品用于芯片表面杂质和微粒子的清洗，芯片图形的刻蚀，芯片图形的显影、芯片的研磨等

CDS系统分类

半导体行业主要使用的化学品大致可以分为酸性（Acid）、碱性（Base）、有机（Solvent）、氧化剂（Oxider）及研磨液(Slurry)。工艺半导体制造在很大程度上是一种与化学有关的工艺过程，高达20%工艺步骤是清洗和晶圆表面的处理。

CCB (Clean Coupling Booth)

即槽车充填单元，将槽车原液Chemical输送至储罐储存的供应机台

Storage Tank储罐

材质:根据供应化学品性质的不同，储罐常常也采用不同的材质。

酸碱类化学品:罐体CS/SUS304,内衬PTFE

有机溶剂类化学品:罐体SUS316L-BA/EP

腐蚀性溶剂化学品:罐体CS/SUS304,内衬PTF

CDU(Chemical Dispense Unit）

即化学品供应单元，用于将200L Drum桶或Storage Tank内的化学品通过内部的Pump、Filter供应至VMB。
根据供应化学品性质的不同，材质分为:
酸碱类化学品:外壳PP,内部阀件管路PFA
有机溶剂类化学品:外壳SUS,内部管路阀件SUS
腐蚀性溶剂化学品:外壳SUS,内部管路阀件PFA

VMB (valve manifold box)

阀门分流箱，用于主管道连接至VMB后，通过支路阀门分别连接至对应POU。

材质:根据供应化学品的性质分为

酸碱类化学品:外壳PP,内部阀件管路PFA

有机溶剂类化学品:外壳SUS,内部管路阀件SUS

腐蚀性溶剂化学品:外壳SUS,内部管路阀件PFA

T-BOX：用于供应主管路需要连接至多个VMB，主管路上开支路时需要安装T-BOX。
E-BOX：用于供应主管路末端需要预留点时，在主管路末端安装E-BOX。

材质:根据供应化学品的性质分为:

酸碱类化学品:外壳PP,内部阀件管路PFA

有机溶剂类化学品:外壳SUS,内部管路阀件SUS

腐蚀性溶剂化学品:外壳SUS,内部管路阀件PFA