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半导体实验室气路

客户背景:

此项目客户是山东家半导体公司实验使用的干法刻蚀设备涉及到的气体有六氟化硫、氯气、硅烷、氢气、氦气等8路气体。为实验人员提供稳定、高纯安全的实验环境


客户需求:

(1)实验室内没有比较合适的位置做气瓶间

(2)压端用气设备对压力和流量希望能动态调节

(3)气体使用压力有低压高压要求,使用的钢瓶尺寸大小各异

(4)能做到人机分离,尾气排放这一块要求能直接排放不产生环保问题


解决方案:

(1)提供燃爆类移动气房,智能化控制,可实现现场及远程报价,集中化控制

(2)提供毒腐燃爆类专用Hisptech 型专用全自动气体控制柜,自动切换,带有二次调压、三级调压,降低调压阀两侧压力差,保证使用寿命。配置专业开发的软件,实现人机分离智能化操作

(3)提供Hisptech电热分解式+高分子WET式Scrubber,采用超高温夹套分解式与超高压水分子吸附处理方式,处理效率≥99.999%


项目成果
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