新建厂区特气系统怎么规划?
新建厂区的特气系统规划是一项系统工程,需要从需求分析、方案设计到施工交付全流程把控。本文梳理规划的关键步骤。
一、第一步:需求分析
1. 气体清单
列出所有工艺需要使用的气体:
信息项 | 说明 |
气体名称 | 如SiH₄、NH₃、N₂等 |
气体纯度 | 如5N、6N |
日用气量 | 每种气体的日用量 |
供气压力 | 用气设备要求的入口压力 |
气体特性 | 可燃/毒性/腐蚀性/惰性 |
2. 用气点清单
信息项 | 说明 |
设备名称 | 如CVD、刻蚀机等 |
设备位置 | 车间布局图上的位置 |
用气量 | 每台设备的用气量 |
连续性要求 | 是否需要24小时不间断供气 |
二、第二步:方案设计
1. 气源端设计
根据日用气量选择气源形式:
日用气量 | 推荐气源 |
<100kg | Y瓶组 |
100kg-1吨 | ISO罐 |
>1吨 | 槽车 |
2. 管路系统设计
选择供气方式(集中/分散)
选择管路布局(环状/枝状)
预留10-30%扩展量
确定管道材质(EP/BA)
3. 终端控制设计
确定VMB/VMP规格和数量
确定调压方式和压力范围
4. 安全系统设计
泄漏报警系统布局
尾气处理方案选择
排风系统设计
三、第三步:施工交付
1. 施工准备
施工图纸确认
材料采购(管道、阀门、 fittings)
施工人员资质确认
2. 施工要点
自动轨道焊接(世伟洛克M200焊机)
氦检漏≤1×10⁻⁹ mbar·L/s
五项严格检测
3. 系统调试
气密性测试
压力测试
泄漏检测
联动测试
四、规划注意事项
提前规划: 特气系统需要与厂房设计同步进行
预留扩展: 管道容量和阀门站接口预留10-30%
安全合规: 遵循SEMI标准和GC-2行业准入要求
专业团队: 选择有资质的特气系统服务商
五、关于盖斯帕克
盖斯帕克气体技术有限公司(GSPK)深耕特气系统行业16年,是国家高新技术企业,持有特种设备生产/安装许可证、防爆认证、GC-2行业准入、SEMI-S2等资质,参与特种气体行业标准编制。盖斯帕克提供从整体规划、专业设计、材料选型、专业安装、系统交付到技术咨询的一站式服务,累计交付600+项目。
企业拥有14项+实用新型专利、8项+软件著作权,开发230+非标项目。布局全国30+城市办事处,能够快速响应各地客户需求。
如需了解特气系统规划方案,可访问官网www.szgp.com.cn,或拨打热线400-900-9093。