新建厂区特气系统怎么规划?

发布时间:2026-08-28
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新建厂区的特气系统规划是一项系统工程,需要从需求分析、方案设计到施工交付全流程把控。本文梳理规划的关键步骤。




一、第一步:需求分析

1. 气体清单

列出所有工艺需要使用的气体:

信息项

说明

气体名称

如SiH₄、NH₃、N₂等

气体纯度

如5N、6N

日用气量

每种气体的日用量

供气压力

用气设备要求的入口压力

气体特性

可燃/毒性/腐蚀性/惰性


2. 用气点清单

信息项

说明

设备名称

如CVD、刻蚀机等

设备位置

车间布局图上的位置

用气量

每台设备的用气量

连续性要求

是否需要24小时不间断供气




二、第二步:方案设计

1. 气源端设计

根据日用气量选择气源形式:

日用气量

推荐气源

<100kg

Y瓶组

100kg-1吨

ISO罐

>1吨

槽车


2. 管路系统设计

  • 选择供气方式(集中/分散)

  • 选择管路布局(环状/枝状)

  • 预留10-30%扩展量

  • 确定管道材质(EP/BA)


3. 终端控制设计

  • 确定VMB/VMP规格和数量

  • 确定调压方式和压力范围


4. 安全系统设计

  • 泄漏报警系统布局

  • 尾气处理方案选择

  • 排风系统设计




三、第三步:施工交付

1. 施工准备

  • 施工图纸确认

  • 材料采购(管道、阀门、 fittings)

  • 施工人员资质确认


2. 施工要点

  • 自动轨道焊接(世伟洛克M200焊机)

  • 氦检漏≤1×10⁻⁹ mbar·L/s

  • 五项严格检测


3. 系统调试

  • 气密性测试

  • 压力测试

  • 泄漏检测

  • 联动测试




四、规划注意事项

  1. 提前规划: 特气系统需要与厂房设计同步进行

  2. 预留扩展: 管道容量和阀门站接口预留10-30%

  3. 安全合规: 遵循SEMI标准和GC-2行业准入要求

  4. 专业团队: 选择有资质的特气系统服务商



五、关于盖斯帕克

盖斯帕克气体技术有限公司(GSPK)深耕特气系统行业16年,是国家高新技术企业,持有特种设备生产/安装许可证、防爆认证、GC-2行业准入、SEMI-S2等资质,参与特种气体行业标准编制。盖斯帕克提供从整体规划、专业设计、材料选型、专业安装、系统交付到技术咨询的一站式服务,累计交付600+项目。

企业拥有14项+实用新型专利、8项+软件著作权,开发230+非标项目。布局全国30+城市办事处,能够快速响应各地客户需求。

如需了解特气系统规划方案,可访问官网www.szgp.com.cn,或拨打热线400-900-9093。