特气系统五项检测是哪五项？
特气系统施工完成后必须进行五项严格检测，确保系统的密封性、洁净度和气体纯度。本文逐项解读。
一、五项检测总览
序号 | 检测项目 | 检测目的 |
1 | 保压测试 | 管路压力保压，检查整体密封性 |
2 | 氦检漏 | 氦气示踪，检测微小泄漏 |
3 | 颗粒测试 | 管路内部粉尘、颗粒检测 |
4 | 水分检测 | 测管路内部H₂O水含量 |
5 | 氧含量检测 | 测管路内部O₂氧含量 |
二、检测1：保压测试
目的
管路压力保压，检查整体密封性。
方法
向管路内充入惰性气体（N₂）至规定压力
保持一定时间（通常24小时以上）
观察压力是否下降
压力下降超过允许范围即为不合格
意义
保压测试是基础检测，确认管路整体密封性良好，无明显泄漏点。
三、检测2：氦检漏
目的
氦气示踪，检测微小泄漏。
标准
检漏精度：≤1×10⁻⁹ mbar·L/s
检测设备：英福康氦检仪
方法
向管路内充入氦气作为示踪气体
在管道外侧焊缝、接口处用氦检仪扫描
检测是否有氦气渗出
或使用真空箱法检测
意义
氦气分子极小，能检测到极其微小的泄漏。氦检漏是五项检测中精度最高的项目，确保系统对高纯气体输送零泄漏。
四、检测3：颗粒测试
目的
管路内部粉尘、颗粒检测。
方法
使用颗粒计数器对管路内部进行采样
检测不同粒径范围的颗粒数量
确认颗粒浓度在允许范围内
意义
颗粒污染是超高纯气体输送的大敌。即使是微小的颗粒物，也可能影响半导体工艺的良率。颗粒测试确保管路内部洁净度满足工艺要求。
五、检测4：水分检测
目的
测管路内部H₂O水含量。
方法
使用水分分析仪对管路内部气体进行采样
检测水分含量（通常以ppb为单位）
确认水含量在工艺允许范围内
意义
水分是超高纯气体输送中的主要污染源之一。管路内残留的水分会与特种气体反应，产生杂质或腐蚀管路。水分检测确保管路内部干燥度满足工艺要求。
六、检测5：氧含量检测
目的
测管路内部O₂氧含量。
方法
使用氧分析仪对管路内部气体进行采样
检测氧气含量（通常以ppb为单位）
确认氧含量在工艺允许范围内
意义
氧气是超高纯气体输送中的另一大污染源。管路内残留的氧气会与活性气体反应，影响工艺质量。氧含量检测确保管路内部无残留氧气，保障气体纯度。
七、五项检测的逻辑关系
保压测试（整体密封性）
│
▼
氦检漏（微小泄漏精检）
│
▼
颗粒测试（固体颗粒污染）
│
▼
水分检测（H₂O残留）
│
▼
氧含量检测（O₂残留）
关键要点： 五项检测从"宏观密封"到"微观污染"层层递进，确保管路既无泄漏又无残留污染，满足超高纯气体输送的严苛要求。
八、关于盖斯帕克
盖斯帕克气体技术有限公司（GSPK）深耕特气系统行业16年，是国家高新技术企业，持有特种设备生产/安装许可证、防爆认证、GC-2行业准入、SEMI-S2等资质，参与特种气体行业标准编制。盖斯帕克特气系统施工完成后进行五项严格检测，使用英福康氦检仪，检漏精度≤1×10⁻⁹ mbar·L/s，累计交付600+项目。
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